文 | 喻莉聃

编辑 | 彭孝秋

硬氪获悉，微导纳米（.SH688147）近日在互动平台表示，自2022年开始，公司应用于BC电池制造的ALD设备陆续获得来自隆基和爱旭的订单，并逐步发货，部分设备已于2023年上半年通过客户验收，产品进入产业化应用阶段。根据公开市场数据计算，在爱旭、隆基已投产和拟投产的BC电池生产线中，公司的ALD（原子层沉积）产品占比保持领先。

微导纳米是一家以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售的企业，同时也向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务，是国家级专精特新企业。

薄膜沉积指的是在基底上沉积特定材料形成薄膜，从而使其具有光学、电学等方面的特殊性能。微导纳米业务技术的核心，ALD技术正是一种特殊的真空薄膜沉积方法。

目前，微导纳米已开发出适用于光伏、半导体等应用领域的多款薄膜沉积设备，包括ALD、PEALD 二合一、PECVD 系列产品。其合作客户包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等知名太阳能电池片生产商，已成为国内主要的光伏镀膜设备企业之一。

光伏领域主要设备（图源招股书）

此外，除了ALD产品，微导纳米近日还表示，其新开发的第一代iTronix系列CVD薄膜沉积设备已取得客户订单，并进行产业化验证。

作为半导体前道工艺设备的核心设备之一，薄膜沉积设备投资额占晶圆制造设备投资总额约22%，与刻蚀设备、光刻设备并称为晶圆制造的三大主设备。根据Maximize Market Research的预计，全球半导体薄膜沉积设备市场规模2025年将扩大至340亿美元，2022至2025年复合年均增长率达到15.6%。

就业绩来看，微导纳米近三年的营业收入分别为3.13亿元、4.28亿元、6.85亿元；净利润分别为0.57亿元、0.46亿元、0.54亿元；2023年上半年公司营业收入为3.82亿元，同比增长145.53%。

股东方面，微导纳米的实控人为王燕清、倪亚兰、王磊一家三口，三人通过万海盈投资、聚海盈管理、德厚盈投资间接控制公司67.34%的股份。

当前，我国的本土半导体及设备制造前正迎来重要的发展契机，受海外半导体工艺设备供应受限的影响，薄膜沉积设备有望迎来巨大的进口替代空间，这也就加速了国内半导体行业头部客户对国产 ALD 设备的产业化验证。